EFEM1 Prologue 8 : 웨이퍼를 담는 그릇 Foup ! 그 세계를 알아보자 흔히 뉴스에서 "반도체 웨이퍼" 라는 단어들을 많이 사용한다.Wafer는 아래 사진과 같이 둥글둥글한 모양이지만, 사실 SI, Metal, Cu 와 같이 사용 목적과 성질에 따라 다양한 상황에서 사용되는 경우들이 많다. 개인적으로는, 현장에서 근무하면서 '웨이퍼'를 손으로 운반하는 경우들이 많았는데..그럴 때 마다 혹여나 잘못될까 아슬아슬 조심히 만졌던 기억이 있다.되게 얇은 것 같은데 깨지지는 않나? 실제로 웨이퍼는 파손에 취약하다. 굉장히 얇은 두께로 수많은 칩들을 담아내는 특성과 SI 가 기반이 되어 취급에 유의하여야 한다. 그렇다면, 이러한 Wafer를 수기로 운반을 하게 되는 것일까? 이전에 포스팅 했던 OHT는 웨이퍼를 운반하는 목적을 띈 로봇인데, 결국 웨이퍼는 "Foup (풉)" 의 .. 2024. 8. 28. 이전 1 다음 반응형
