Prologue 7 : 반도체 선단공정의 핵심 OHT, 그리고 Foup 이동

 

 

반도체 현장을 처음 들어갔을 때 느껴지는 그 광활한 모습을 아직도 잊을 수 없다.

윙윙 소리를 내며, 천장의 레일을 따라 돌아다니는 OHT가 대표적인 반도체 공장 모습 중 하나를 대변한다.

 

출처 : 삼성전자 반도체룸 공식 유튜브, 삼성전자에 자율주행 이동수단이 있다..?

 

 

 

실제 삼성전자 반도체룸 공식 유튜브 채널에는 OHT에 대한 이야기가 소개되고 있다.

 

 OHT가 그래서 뭔데? 

 

 

반도체 첨단 공정의 천장을 떠돌아 다니는 OHT는 설비 엔지니어에게 있어 "아, 내가 드디어 반도체에서 일하는구나" 하고

느끼게 되는 순간을 제공한다. OHT는 "Overhead Transport" 의 약자로 말 그대로 "운송수단"의 의미를 내포한다.

 

일반적으로는 OHT는 반도체 제조 공정에서 Wafer 를 운반하는 자동화 시스템을 의미하며,

설비 엔지니어의 입장에서 OHT는 굉장히 소중한 존재이기도 한다.

(나중에 포스팅을 하겠지만, 8인치 공정은 사람이 수기로 웨이퍼를 옮긴다.. OHT는 정말 고마운 존재가 맞다 ㅎㅎ)

 

주광등 속에서 무수히 많은 OHT들을 보는 재미도 은근(?) 있다.

 

설비 엔지니어는 OHT는 어떻게 움직이나?

 

사실 이러한 OHT도 일정의 Logic을 통해 움직이게 된다.

자세한 내용을 쓰기에는 어렵지만, 어느정도 운용하는 프로그램 Tool을 통해서 설비-공정 엔지니어들은

OHT를 통해 원하는 지점의 설비로 Wafer를 투입시켜 업무를 진행하는 형태이다.

 

생각보다 복잡한 프로그램 사용법에 처음에는 다소 어려움이 있을 수 있으나, 어느순간부터는 기계적으로 키보드를 투닥투닥 거리는 나 자신을 발견할 수 있을 것이다.(처음에는 이러한 개념이 생소하다보니, 실수도 은근 발생되는.. 그런 프로그램 사용이기도 하다)

 

나중에 한번 포스팅을 하겟지만.. Recipe라는 일종의 공정의 비법(?) 조합들을 테스트하고 실제 공정에 운용하기 위해서는 이러한 OHT가 없다면 실질적으로 공정 효율이 돌아가지 못한다는 것은 저명한 사실이다. 그만큼, OHT가 반도체 산업에 있어 지대한 영향력을 행사하고 있다는 데에는 산업 종사자 모두 이견은 없을 것이다.

 

이렇게 한가하게 보고있지는 않는다 ㅎㅎ

 

신기했던 현장 경험들

 

1. 제일 신기한 것들은 일련의 Logic 들이 정교하게 들어가 있어서, 서로 충돌되지 않도록 잘 이동을 한다는 점이다.

가끔 멍때리며 천장을 보면, 속도 조절을 하며 자기들끼리 교통정리를 하는 모습이 꽤나 우스꽝스럽기도 하다 ㅋㅋ

 

2. 가끔식 고장나는 OHT가 발생되기도 하는데, 그럴 때는 긴급하게 수리하는 부서에서 엔지니어가 투입되기도 한다.

 

3. 실제 내 OHT가 나의 설비 앞으로 이동하는 것을 지켜보는 재미가 꽤나 있다. 언제오나~ 하염없이 기다리는 시간들도 은근 업무의 재미요소 중 하나이다.

 

4. 생각보다 OHT 명령어를 입력하면 명령을 되돌리기는 진땀이 난다. 실수를 하는 경우들이 있는데, 그럴 때마다 얼마나 심장이 콩닥콩닥 뛰던지.. 제발제발 도착하지 말아라! 라고 외친 적이 한두번이 아니었다 ㅋㅋ (다행이 사고는 없었다)

 

5. 이러한 Foup 들을 떨어뜨리면 대형 참사가 일어나지 않을까? 하는 생각도 들었지만.. 실제 그런 사고는 한번도 보지 못했기에 안전한 시스템이라고 생각한다.

 

주의사항들 및 취업 팁

 

실제로 OHT를 다루는 것은 기본 업무 중 하나이다.

보통 Dummy Foup 을 통해서 설비를 테스트를 한다던지, 혹은 RINSE 를 통해 설비 컨디션을 정상화 한다던지..

다양한 방법의 설비 활용을 위해서는 이러한 OHT가 큰 역할을 수행하기 떄문이다. (물론 오프라인 업무도 있지만)

 

신입은 이러한 Recipe를 토대로 OHT를 적절하게 활용하는 방법을 익히는 것이 중요하며, 어쩌면 나중에는 다양한 상황을 고려하여 Foup의 위치와 상태, 그리고 OHT의 활용들을 집중있게 쓸 수 있는지가 업무 효율과 직접적인 연관성을 주기도 한다. 결국, 프로그램 도구를 잘 활용하는 것이 업무 경쟁력이 되기 떄문이다.

 

그만큼 실수가 많이 발생할 수 있는 Tool이기도 하다. 사고가 크게 나지는 않지만, 적절한 타이밍에 설비에 안착시키는 것이 중요하며 민감성을 가지고 상황 전반을 체크하며 컨트롤 하는 자세가 중요할 것이다.

 

 

간단히 OHT에 대해서 소개를 하였다. 실제 반도체의 "꽃" 이라고 할 정도로 OHT는 굉장히 유용하고 또한 산업 전반에 많이 사용되는 기계이기도 하다. 그만큼, 반도체 산업을 준비하는 엔지니어라면 OHT 정도의 뜻과 사용 목적을 사전에 이해하고 면접 현장에 가는 것이 유리할 수 있겠다.